
1.金屬蝕刻加工影響側蝕的因素
1)蝕刻方式:浸泡和鼓泡式蝕刻會造成較大的側蝕,潑濺和噴淋式蝕刻側蝕較小,尤以噴淋蝕刻效果最好。
2)蝕刻液的種類:不同的蝕刻液化學組分不同,其蝕刻速率就不同,蝕刻系數(shù)也不同。例如:酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)通常為3,堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)可達到4。近來的研究表明,以硝酸為基礎的蝕刻系統(tǒng)可以做到幾乎沒有側蝕,達到蝕刻的線條側壁接近垂直。這種蝕刻系統(tǒng)正有待于開發(fā)。
3)蝕刻速率:蝕刻速率慢會造成嚴重側蝕。蝕刻質量的提高與蝕刻速率的加快有很大關系。蝕刻速度越快,板子在蝕刻液中停留的時間越短,側蝕量越小,蝕刻出的圖形清晰整齊。
4)蝕刻液的PH值:堿性蝕刻液的PH值較高時,側蝕增大。峁見圖10-3為了減少側蝕,一般PH值應控制在8.5以下。
5)蝕刻液的密度:堿性蝕刻液的密度太低會加重側蝕,見圖10-4,選用高銅濃度的蝕刻液對減少側蝕是有利的.
6)銅箔厚度:要達到最小側蝕的細導線的蝕刻,最好采用(超)薄銅箔。而且線寬越細,
銅箔厚度應越薄。因為,銅箔越薄在蝕刻液中的時間越短,側蝕量就越小。
2.提高板子與板子之間蝕刻速率的一致性
在連續(xù)的板子蝕刻中,蝕刻速率越一致,越能獲得均勻蝕刻的板子。要達到這一要求,必須保證蝕刻液在蝕刻的全過程始終保持在最佳的蝕刻狀態(tài)。這就要求選擇容易再生和補償,蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對各種溶液參數(shù)能自動控制的工藝和設備。通過控制溶銅量,PH值,溶液的濃度,溫度,溶液流量的均勻性(噴淋系統(tǒng)或噴嘴以及噴嘴的擺動)等來實現(xiàn)。
