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寮步腐蝕加工1）氯氣再生：主要的再生反應(yīng)為：Cu2Cl2+Cl2 ->2CuCl2由于氯氣是強(qiáng)氧化劑，直接通氯氣是再生的最好方法。因?yàn)樗某杀镜?，再生速率快。但是，很難做到使氯氣全部都參加反應(yīng)，如有氯氣溢出，會(huì)污染環(huán)境。故該法要求蝕刻設(shè)備密封。
2）電解再生：主要的再生反應(yīng)為：在直流電的作用下，在陽(yáng)極：Cu1+ ->Cu2+ +e在陰極：Cu1+ +e->Cu0這種方法的優(yōu)點(diǎn)是可以直接回收多余的銅，同時(shí)又使Cu1+氧化成Cu2+，使蝕刻液得到再生。但是此方法的再生設(shè)備投入較大且要消耗較多的電能。
3） 通氧氣或壓縮空氣再生：主要的再生反應(yīng)為：2Cu2Cl2+4HCl+O2 ->4CuCl2+2H2O
但此方法再生反應(yīng)速率很低。